真空バルブ表示用
2023年4月6日
＜例＞ステンレスエッチング銘板
サイズ80Φ 厚み0.5 1-45Φ 2-4Φ
【真空バルブ】
真空バルブとは、真空容器内に封入された電子部品であり、電子回路を構成するために使用されるものです。真空を作るために使用される装置で、真空を作るためには、空気中の緩衝を引き抜いて真空にする。真空状態態を保有するために使用されるバルブ装置の真空チャンバーに取り付けられる真空部品です。
破裂圧力、物体が破裂する前に受ける必要のある最小の圧力のことです。破裂圧力は、物体の物性や構造、および外部環境などが影響する。
真空チャンバー
真空チャンバー（Vacuum Chamber）は、内部の空気や気体を排出して低圧または高真空状態を作り出す密閉容器です。科学研究、工業製造、宇宙シミュレーションなど、さまざまな分野で使用されます。
真空チャンバーの用途
- 科学研究
- 物理学・化学の実験（例えば、電子顕微鏡や粒子加速器）
- プラズマ実験や材料特性の研究
- 工業用途
- 半導体製造（CVD、PVD、スパッタリングなどの薄膜形成）
- 金属・プラスチックの真空蒸着
- 高精度部品の乾燥・脱ガス処理
- 宇宙関連
- 宇宙環境シミュレーション（人工衛星や宇宙機器の耐久試験）
- 宇宙服やエンジンの動作試験
- 医療・バイオ
真空チャンバーの種類
| 種類 |
特徴 |
| 低真空チャンバー |
圧力範囲：大気圧～1 Pa程度。比較的簡単なポンプで作成可能。 |
| 高真空チャンバー |
圧力範囲：1 Pa～10⁻⁶ Pa。ターボ分子ポンプやイオンポンプが必要。 |
| 超高真空チャンバー |
圧力範囲：10⁻⁶ Pa以下。電子顕微鏡や半導体プロセスに使用。 |
| 極高真空チャンバー |
圧力範囲：10⁻¹² Pa以下。基礎物理研究などに使用。 |
真空チャンバーの構造
- 材質：ステンレス（SUS304, SUS316など）、アルミ合金、ガラス
- 真空ポンプ：
- ロータリーポンプ（低真空用）
- ターボ分子ポンプ（高真空用）
- イオンポンプ（超高真空用）
- シール材：Oリング（ゴム系）、メタルシール（超高真空用）
真空チャンバーの設計ポイント
- リーク対策：シールの精度や溶接の品質が重要
- 材料の脱ガス：低ガス放出性の材料を選ぶ
- 温度管理：加熱脱ガス処理が必要な場合あり
- 計測機器の選定：真空ゲージ（ピラニゲージ、冷陰極ゲージなど）
まとめ
真空チャンバーは、さまざまな分野で不可欠な装置です。用途に応じた真空レベルや材料、ポンプの選定が重要になります。
