Everhart-Thornley 検出器の略である ET 検出器は、走査型電子顕微鏡 (SEM) で一般的に使用される二次電子検出器の一種です。これは、一次電子ビームが照射されたときに試料の表面から放出される、二次電子として知られる低エネルギー電子を検出するように設計されています。ET検出器は、電子が当たると光を発生するシンチレーターと、光信号を増幅する光電子増倍管で構成されています。増幅された信号は画像に変換されます。この検出器は高感度であるため、SEM 分析で高解像度画像を生成する場合に特に役立ちます。

検出器に取り付ける銘板の参考例 アルミニウム製　サイズ63×100　厚み0.8mm　　4-φ2.6　4-R2　白地、黒エッチング　半艶　シート有

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